截至10:01，上證科創(chuàng)板半導(dǎo)體材料設(shè)備主題指數(shù)上漲0.38%，成分股中船特氣上漲6.99%，中微公司上漲3.14%，盛美上海上漲2.43%，拓荊科技上漲2.37%，神工股份上漲1.78%?？苿?chuàng)半導(dǎo)體ETF（588170）上漲0.20%，最新價報1.5元。

流動性方面，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF（588170）盤中換手3.61%，成交1.43億元。拉長時間看，截至10月29日，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF近1月日均成交6.68億元，領(lǐng)先同類。

規(guī)模方面，科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF近1周規(guī)模增長8362.27萬元，實現(xiàn)顯著增長。

消息面上，中微公司于10月29日發(fā)布2025年第三季度報。公告顯示，中微公司2025年前三季度營業(yè)收入為80.63億元，同比增長約46.40%；歸母凈利潤為12.11億元，同比增長32.66%。收入按產(chǎn)品來看，前三季度刻蝕設(shè)備收入61.01億元，同比增長約38.26%；LPCVD和ALD等薄膜設(shè)備收入4.03億元，同比增長約1332.69%。

民生證券指出，AI拉動先進邏輯及存儲需求，直接帶動了半導(dǎo)體設(shè)備及材料的需求。在邏輯芯片向更先進制程演進的過程中，以及HBM（高帶寬內(nèi)存）的興起，對相關(guān)制造材料提出了更高要求。

相關(guān)ETF：公開信息顯示， 科創(chuàng)半導(dǎo)體ETF（588170）及其聯(lián)接基金（A類：024417；C類：024418）跟蹤上證科創(chuàng)板半導(dǎo)體材料設(shè)備主題指數(shù)，囊括科創(chuàng)板中 半導(dǎo)體設(shè)備（61%）和半導(dǎo)體材料（23%）細分領(lǐng)域的硬科技公司。 半導(dǎo)體設(shè)備和材料行業(yè)是重要的國產(chǎn)替代領(lǐng)域，具備國產(chǎn)化率較低、國產(chǎn)替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導(dǎo)體需求，擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術(shù)進展。

半導(dǎo)體材料ETF（562590）及其聯(lián)接基金（A類：020356、C類：020357），指數(shù)中半導(dǎo)體設(shè)備（61%）、半導(dǎo)體材料（21%）占比靠前，充分聚焦半導(dǎo)體上游。