中瓷電子：陶瓷加熱盤產(chǎn)品已批量應(yīng)用于國產(chǎn)半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備

每日經(jīng)濟新聞 2024-11-20 22:43:11

每經(jīng)AI快訊，11月20日，中瓷電子在互動平臺表示，公司已開發(fā)了精密陶瓷零部件用氧化鋁、氮化鋁核心材料和配套的金屬化體系，建立了完善的精密陶瓷零部件制造工藝平臺，開發(fā)的陶瓷加熱盤產(chǎn)品核心技術(shù)指標已達到國際同類產(chǎn)品水平并通過用戶驗證，實現(xiàn)了關(guān)鍵零部件的國產(chǎn)化，已批量應(yīng)用于國產(chǎn)半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備中。

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