每日經(jīng)濟(jì)新聞 2023-05-29 15:47:55
每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：日本對euv掩膜版設(shè)備進(jìn)行了限制，MueTec的掩膜版檢測設(shè)備能否進(jìn)行國產(chǎn)替代？
天準(zhǔn)科技（688003.SH）5月29日在投資者互動平臺表示，Muetec的掩膜檢測設(shè)備已經(jīng)可以覆蓋65-90nm工藝，目前尚未達(dá)到EUV掩膜檢測設(shè)備的精度。
(記者 賈運可)
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