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南大光電:公司ArF光刻膠的客戶驗證目前主要集中在90nm~28nm制程的工藝節(jié)點

每日經(jīng)濟新聞 2023-02-10 15:18:18

每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:您好。請問貴司的多款ARF干濕法光刻膠是否已經(jīng)在國內12寸主流晶圓廠進入STR與MSTR階段?

南大光電(300346.SZ)2月10日在投資者互動平臺表示,公司ArF光刻膠的客戶驗證目前主要集中在90nm~28nm制程的工藝節(jié)點。

(記者 畢陸名)

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