每經(jīng)訊，據(jù)啟信寶，新三板創(chuàng)新層公司石金科技（833069）新增專(zhuān)利信息，專(zhuān)利權(quán)人為石金科技，發(fā)明人是南志華、孫海龍、李文紅。專(zhuān)利授權(quán)日為2022年11月15日，專(zhuān)利名稱(chēng)為“一種石墨舟片及包含該石墨舟片的石墨舟”，專(zhuān)利類(lèi)型為中國(guó)實(shí)用新型專(zhuān)利，專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)枮镃N202220769153.2。

該專(zhuān)利摘要顯示：本實(shí)用新型公開(kāi)了一種石墨舟片及包含該石墨舟片的石墨舟，其中石墨舟片包括舟片本體以及用于連接電極的電極連接板，所述電極連接板有兩塊，兩塊所述電極連接板分別設(shè)置在舟片本體的兩側(cè)；其中，所述舟片本體包括用于承載硅片的承載部以及用于與其它石墨舟片連接的連接部；所述承載部包括多個(gè)承載位，多個(gè)所述承載位上設(shè)有用于安裝石墨卡點(diǎn)的卡位孔；所述連接部上設(shè)有用于容納連接桿的連接孔，所述連接部上設(shè)有用于避開(kāi)隔套的避空部，在石墨舟裝配完成后，所述避空部與相反電極的石墨舟片上的連接孔位置相對(duì)應(yīng)。該石墨舟片不僅能夠適用于不導(dǎo)電的薄膜沉積，而且能夠適用于導(dǎo)電的薄膜沉積。

(記者 曾健輝)

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